產品說明
6 吋手動晶舟轉換器(高低晶舟傳輸專用)
高低晶舟無縫對接,實現晶圓轉換的穩定與效率
這款6 吋手動晶舟轉換器,專為高/低晶舟盒之間的晶圓傳送需求所設計,廣泛應用於半導體與光電產業,有效支援不同製程節點中的晶舟轉換作業。
產品應用情境
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晶圓出貨/入庫前,更換至不同高度之晶舟盒
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高溫處理前,轉換至金屬晶舟(Metal Cassette)
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適用於需切換標準與特殊高度晶舟盒的多製程設備
產品優勢特色
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✅ 防呆定位機構:晶舟未正確擺放即無法操作,有效降低操作錯誤與晶圓破損風險
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✅ 降低訓練時間:操作直覺、流程簡單,新進人員可快速上手,減少失誤率
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✅ 易清潔保養:結構簡約、無複雜傳動,日常保養快速省時
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✅ 客製支援:可依據客戶實際晶舟規格與操作需求量身開發,實測配合
適用晶舟規格:6 吋晶舟,高/低款式混用場域
應用產業:半導體晶圓代工、光電製造、封測前段製程
操作方式:手動轉換/無動力設計/精密定位防呆
在高低晶舟切換之間,守住每一片晶圓的安全。
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