產品說明｜訂製款全防靜電晶圓 Cassette（5 吋 Wafer 專用）

全防靜電設計 × 輕量結構 × 高規製程對應

本產品為專為 5 吋晶圓（5” Wafer）設計的防靜電 Cassette 載具，結構設計輕巧、堅固耐用，便於使用者日常操作搬運，且有效降低靜電風險。全機身採用防靜電塑膠材質製成，並可依客戶需求進行尺寸與結構客製化調整，廣泛應用於半導體與光電產線。

產品特性

• 全防靜電材質製成，降低晶圓製程中靜電風險

• 結構輕量化，方便取放與搬運

• 高耐用性，損壞率低、支撐穩定性佳

• 採用鎖附螺絲結構，更牢固耐用

• 可依設備與製程條件進行 客製設計（Slot 數、尺寸、材質）

• 與多數自動化設備兼容，支援 SEMI 標準規格

產品規格

• 適用晶圓尺寸：5 吋（可依需求訂製 4 / 6 吋等）

• 槽位數：25 Slot

• 材質：防靜電塑膠（符合 RoHS 材質規範）

• 結構形式：鎖附螺絲款

• 對應標準：SEMI 國際標準

應用產業

• 半導體晶圓製造與搬運

• 光電元件與薄膜製程

• 晶圓出貨、收料、清洗或設備前後段搬送

客製、安全、防靜電，為精密製程提供高品質晶圓載具方案。
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