產品說明｜高溫製程用金屬晶舟盒（150mm Wafer 專用）

本產品為應用於高溫製程的晶圓載具，專為 150mm 晶圓搬運與高溫處理環境設計。產品採用輕量化結構，方便操作人員取放，具備高強度與低損耗特性，適用於多種製程條件。

產品特性

• 適用於高溫製程（如退火、擴散、氧化等）

• 輕量化設計，搬運方便、降低作業疲勞

• 結構安全、耐用性高，損壞率低、壽命長

• 支援鎖附螺絲款 / 無螺絲款選擇，操作彈性

• 可加裝晶圓防落機構，提升晶圓搬運穩定性

• 可依客戶需求客製尺寸與結構設計

產品規格

• 適用晶圓尺寸：150mm Wafer（可訂製其他尺寸）

• Slot 數量：13 Slot / 25 Slot

• 結構樣式：鎖附螺絲款 / 無螺絲款

• 標準對應：符合 SEMI 標準規範

• 材質規範：符合歐盟 RoHS 檢驗要求

如需客製設計、搭配載具轉換器或搭配收納系統，歡迎聯繫我們，提供現場需求後將由專人協助評估與建議。