產品說明
酸鹼製程的可靠夥伴|鐵氟龍提籃
(適用 50mm Wafer)
本產品為專為酸鹼製程環境打造的鐵氟龍提籃,具備優異的耐蝕性與結構穩定性,廣泛應用於半導體前段製程中的晶圓清洗與化學處理。
? 產品特色:
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✅ 輕量化設計:整體結構輕巧,方便操作人員單手提取與搬運,降低製程勞力負擔。
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✅ 高強度結構:採用耐高溫、耐化學性極佳的鐵氟龍材質(PTFE),長時間使用不易變形或損壞。
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✅ 低損耗率:在多次酸鹼循環下仍維持穩定性,有效降低更換頻率與整體成本。
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✅ 客製化支援:標準規格為適用 50mm Wafer,亦可依客戶需求調整尺寸與容量,靈活對應多元製程條件。
? 應用範圍:晶圓清洗槽、酸鹼蝕刻製程、化學液處理站
? 主要材質:高純度 PTFE(鐵氟龍)
? 客製服務:可調整籃內結構、容量、Wafer 尺寸(如 100mm / 150mm / 200mm)