晶舟盒檢測治具｜確保載具精度，守住每一片晶圓的安全

專為晶舟盒來料檢驗與形變確認而設計

在晶圓搬運與製程中，晶舟盒的結構精度至關重要。
鴻瑋精密晶舟盒檢測治具，可有效檢測新品或來料晶舟盒是否出現槽位 Pitch 位移、整體歪斜或形變問題，確保每一個載具投入使用前符合規範、零誤差。

功能特色

• 快速檢測 Slot Pitch 是否一致

• 偵測晶舟盒是否產生形變或歪斜

• 適用來料品驗收或新品出貨前品檢

• 可依不同尺寸晶舟盒客製設計對應規格

• 適用 3 吋至 12 吋晶舟盒，金屬與塑膠材質皆可對應

應用場景

• 晶舟盒生產廠品管部門

• 晶圓製造廠材料入庫驗收檢查

• 設備維護工程部位現場快速檢測

• 半導體、光電產業晶圓載具品管流程

讓每個投入產線的晶舟盒都通過精準檢測，是降低良率風險的第一步。
歡迎聯繫我們提供樣品圖面、現場應用建議與客製化設計方案。