產品說明｜高溫製程／清洗製程用不鏽鋼提籃（150mm Wafer 專用）

本產品為不鏽鋼製晶圓提籃，適用於高溫製程及化學清洗製程環境，專為 150mm 晶圓搬運與製程中承載需求而設計。整體結構輕巧、堅固，方便操作者搬運與操作，具備高耐用性與低損耗特性。

產品特性

• 適用於高溫處理、化學清洗等製程條件

• 採用輕量化設計，操作便利、減輕負擔

• 結構穩固耐用，長時間使用不易變形或損壞

• 支援客製化設計，可依製程或機台需求進行調整

• 可搭配各式晶舟或清洗載具一併使用

產品規格

• 適用晶圓尺寸：150mm Wafer（亦可依需求客製）

• 標準規範：符合 SEMI 標準

• 材質規格：不鏽鋼材質，符合 歐盟 RoHS 檢驗要求

應用產業與場景

• 半導體高溫處理／清洗製程

• 微機電（MEMS）元件製造

• LED / 光電元件封裝與表面處理工序

焊接成型 × 穩固安全 × 多用途應用，為嚴苛製程提供高穩定承載解決方案。
如需客製結構、搭配晶舟、清洗載具或夾具系統，歡迎與我們聯繫取得詳細資料與專業建議。