自動晶圓轉換器｜整批轉換 × 精準對位 × 快速簡單的操作設計

鴻瑋精密自動晶圓轉換器專為半導體產線開發，能實現晶圓從一晶舟盒至另一晶舟盒的整批轉換（25 片/批）。透過機構自動推送與精準定位，可快速完成整批晶圓搬移，有效降低人工操作風險，大幅提升製程效率與產品良率。

產品規格

• 適用晶圓尺寸：4 吋 / 5 吋 / 6 吋 / 8 吋（每尺寸對應專用機型）

• 機型不可共用，需依尺寸個別設計

• 單次轉換數量：25 片（Full Cassette 推送）

• 搭配防呆設計，晶舟未定位無法啟動操作

• 晶圓遇阻自動停止，防止卡片、跳格造成破片

產品優勢

• 減少人為接觸與操作錯誤，降低破片風險

• 穩定性高，無需專業訓練即可上手

• 精密結構設計，符合無塵室與高潔淨製程需求

• 可依實際現場空間與載具設計進行機構客製

• 適用於各式晶圓出貨、轉批、重編排流程

應用場景

• 晶圓進出貨轉換站

• 晶舟盒間晶圓重編排流程

• 自動化產線中段／封裝前製作業

如需搭配專用晶舟盒、載具或自動化平台整合，歡迎洽詢我們取得客製化設計與模組化方案建議。